【摘 要】
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为在不降低传统稳腔高功率TEA CO2激光器功率的基础上,改善其光束质量。本文基于原有的稳腔激光器,设计了3组望远镜虚共焦腔镜。给出了完整的设计过程并进行了理论分析,同时
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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为在不降低传统稳腔高功率TEA CO2激光器功率的基础上,改善其光束质量。本文基于原有的稳腔激光器,设计了3组望远镜虚共焦腔镜。给出了完整的设计过程并进行了理论分析,同时对不同组的非稳腔激光器进行了对比实验。结果表明,非稳腔能够在保证高单脉冲能量的基础上极大地改善激光器远场发散角,其中最佳腔镜组合能够获得单脉冲能量13.7J,发散角1mrad（稳腔为2.4mrad）,激光脉宽50ns（稳腔为98ns）。改进的设计方案为TEA CO2激光器应用于激光制造领域奠定了基础。
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