【摘 要】
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针对硅片双端面磨削工作台与砂轮干涉的问题，设计了一种新的工作台，不仅可以消除工作台与砂轮的干涉，还可以实现旋转的功能，为了验证工作台结构的可行性，采用ADAMS仿真软件对机构
【机 构】
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桂林航天工业高等专科学校．广西桂林541004
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针对硅片双端面磨削工作台与砂轮干涉的问题，设计了一种新的工作台，不仅可以消除工作台与砂轮的干涉，还可以实现旋转的功能，为了验证工作台结构的可行性，采用ADAMS仿真软件对机构进行了运动学仿真，得到了工作台在工作过程中的角速度曲线，并对影响工作台平稳性的参数进行了对比研究，结果表明，并非驱动角速度越低系统越稳定，而是系统参数之间存在最优的匹配值。
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