高性能ZnS：MnEL显示器制作新技术

来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Alkaid

【摘要】

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为了制得高性能 ZnS:Mn EL 显示器,国外研究人员作了不少努力,下面介绍几种技术。1.用 MOCVD 技术生长高亮度 ZnS:Mn 层MOCVD 优点是能大面积淀积优质薄膜,淀积温度低,适合碱

【作者】

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缪承纪

【出处】

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光电子技术

【发表日期】

：

1992年2期

【关键词】

：

ZNS:MN EL 显示器制造

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为了制得高性能 ZnS:Mn EL 显示器,国外研究人员作了不少努力,下面介绍几种技术。1.用 MOCVD 技术生长高亮度 ZnS:Mn 层MOCVD 优点是能大面积淀积优质薄膜,淀积温度低,适合碱玻璃基片。还有,荧光层和介电膜可相继连续淀积,可省掉退火工艺,显示板生产率大为提高。日本用 MOCVD 技术

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