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干涉滤光片由于内部谐振场共振吸收特性，其激光破坏过程有别于全反膜而具有特殊的性质。本文从谐振场及温度场理论出发，计算得出了ZnS/MgF2为主材料的滤光片的谐振场及温度场分布规律。在此规律指导下，对相同膜系结构的一系列滤光片的激光破坏阈值、吸收及破坏形貌进行了测量与分析，结合实验结果对干涉滤光片独具特色的破坏发展过程作出了描述，并给出了一定的解释。