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本文总结了关于Ti(1-x)AlxN薄层的微结构特征和氧化行为的最新研究成果。Ti(1-x)AlxN薄层含有3个不同的相区:x值较小时,其微结构为立方晶系;x值较大时,其微结构为六方晶系;x为中间值时,其结构尚不清楚。应用选择性氧化机理,预测了具有不同Ti/Al比值的Ti1-xAlxN薄层的氧化结果。