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板厚度、板凸度是衡量板材质量的重要指标,激光板凸度检测系统的核心技术是基于差动激光三角法的扫描式高精度厚度检测系统.本文介绍该系统的组成和功能,着重分析该系统设计过程中的关键技术.通过实际应用表明,本系统的检测精度达到±1um.
高精度激光板凸度检测技术
【摘 要】
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板厚度、板凸度是衡量板材质量的重要指标,激光板凸度检测系统的核心技术是基于差动激光三角法的扫描式高精度厚度检测系统.本文介绍该系统的组成和功能,着重分析该系统设计过程中的关键技术.通过实际应用表明,本系统的检测精度达到±1um.
【机 构】
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中南大学(湖南长沙)
【出 处】
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中国有色金属学会第五届冶金设备学术年会
【发表日期】
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2004年9期
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