【摘 要】
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采用氯化铵（NH4Cl）溶液对磁控溅射技术制备的掺铝氧化锌（A2O）薄膜进行表面织构，并对其表面织构机制进行研究。研究结果表明NH4Cl溶液优先与间隙锌、间隙铝等缺陷和晶界处的堆积铝
【机 构】
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郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
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采用氯化铵（NH4Cl）溶液对磁控溅射技术制备的掺铝氧化锌（A2O）薄膜进行表面织构，并对其表面织构机制进行研究。研究结果表明NH4Cl溶液优先与间隙锌、间隙铝等缺陷和晶界处的堆积铝反应，而较大的相对应力和稀疏表面有助于间隙锌、间隙铝等缺陷和堆积铝的形成。它们对NH4Cl对A2O薄膜的表面织构很关键。
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