硅膜厚度对0.1μm SOI槽栅NMOS器件特性的影响

来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cuitlcm

【摘要】

：

SOI技术和槽栅MOS新器件结构是在改善器件特性方面的两大突破,SOI槽栅MOS器件结构能够弥补体硅槽栅MOS器件在驱动能力和亚阈值特性方面的不足,同时也保证了在深亚微米领域的

【作者】

：

邵红旭吴峻峰韩郑生孙宝刚

【机构】

：

中国科学院微电子研究所

【出处】

：

微电子学与计算机

【发表日期】

：

2006年5期

【关键词】

：

SOI 槽栅MOS器件短沟道效应热载流子效应 SOI Groove gate MOS devices Short-channel effects Ho

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

SOI技术和槽栅MOS新器件结构是在改善器件特性方面的两大突破,SOI槽栅MOS器件结构能够弥补体硅槽栅MOS器件在驱动能力和亚阈值特性方面的不足,同时也保证了在深亚微米领域的抑制短沟道效应和抗热载流子效应的能力.仿真结果显示硅膜厚度对SOI槽栅MOS器件的阈值电压、亚阈值特性和饱和驱动能力都有较大影响,选择最佳的硅膜厚度是获得较好的器件特性的重要因素.

其他文献

勤工俭学学生参与高校图书馆管理工作问题的思考

文章简单阐述了图书馆勤丁俭学学生产生的供求关系，探讨了勤工俭学给图书馆及贫困生带来的好处，以及高校图书馆组织勤工俭学学生参与图书馆管理工作是高校图书馆开辟读者服务工

期刊

高校图书馆勤工俭学

中国外贸与经济增长

对外贸易是中国国民经济体系中的重要组成部分,一般是指商品的国际交换和资金、技术、劳动、管理、信息的国际交流活动,它联系着国内生产和国外消费,国外生产和国内消费,它将

期刊

中国经济增长对外贸易中国外贸拉动作用外贸体制目标实现重要组成部分国内消费发展现状国际收支

高校师德现状及师德建设路径研究

高校担负着“人才培养、科学研究、社会服务、文化传承”的重要责任.高校教师的师德关乎高等教育的成败,当前条件下高校教师师德水平尽管总体能够达标,但仍然存在着不同程度

期刊

高校师德师德建设路径teachers＇ ethics in colleges and universities teachers＇ ethics con

直交轴摆动机构的参数化建模及运动仿真

针对直交轴摇摆机构进行了机构简化，对其关联尺寸进行了定量分析。根据设计示例的要求在UG中对直交轴摆动机构进行了参数化建模，结合运动仿真的结果验证了设计的正确性。

期刊

直交轴摆动机构运动仿真UGswinging mechanism of rectangular axismotion simulationUG

一种分布式磁盘缓存的设计与实现

为了提高系统IO性能,针对松散耦合环境下,高带宽、低延迟的传输特点,提出了一种通过扩展存储器层次结构来提高系统IO性能的分布式系统——分布式磁盘缓存系统DRACO。通过利用

期刊

分布式内存密集型磁盘缓存distributed memory-intensive disk caching

美国能源部公布总额为284亿美元的2014财年预算申请

2013年4月10日，美国能源部副部长丹尼尔·伯纳曼公布了总额为284亿美元的能源部2014财年预算申请（详见表1）。他在公布这份预算申请时强调指出，这份预算申请继续致力于实施全

期刊

美国能源部预算申请清洁能源技术能源战略国家安全工作岗位美国政府副部长

陈春志摄影作品

期刊

葛洲坝集团公司党委创造干部学习新途径

今年的5月13日和14日是国家法定的双休日时间,而承担三峡、高坝洲、水布垭等许多工程建设的葛洲坝集团公司的400多名处以上领导干部却静静地安坐在葛洲坝党校,连续聆听了来自

期刊

XCouple：一个新型异构信息集成平台

基于XML和XQuery技术实现了一个新型的异构信息集成平台XCouple。该平台能屏蔽网络、操作系统和多种数据的异构性，支持企业的信息发布和电子商务应用，并具有高度灵活性和扩展性

期刊

异构信息集成XMLXQUERY统一的信息访问heterogeneous information integration XML XQuery unifo

爱书·读书·写书

书,是智慧的结晶,是人生最亲密的伴侣,一生中我——我今年83岁,是一位专业作家。半个世纪以来,我爱书、读书、写书,与书结下了不解之缘:我

期刊

硅膜厚度对0.1μm SOI槽栅NMOS器件特性的影响

与本文相关的学术论文