【摘 要】
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MEMS器件制作过程中,结构薄膜的应力和膜内的应力梯度必须进行严格的控制,因而对于LPCVD工艺有特殊的要求.应力测量一般要借助专门仪器进行,在不具备测量设备的情况下,可以利
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MEMS器件制作过程中,结构薄膜的应力和膜内的应力梯度必须进行严格的控制,因而对于LPCVD工艺有特殊的要求.应力测量一般要借助专门仪器进行,在不具备测量设备的情况下,可以利用光刻机来进行膜应力评价.结合Nikon Stepper聚焦系统的技术特点,说明了膜应力评价的原理和具体做法,对光刻机应力测量的优劣进行了讨论,并给出了具体的测量实例.
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