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RTD/HEMT单片集成中RTD直流参数与材料结构的关系
RTD/HEMT单片集成中RTD直流参数与材料结构的关系
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aaa939639017
【摘 要】
:
为了研究器件参数与材料结构的关系,设计了三种不同的GaAs基RTD材料结构。通过完全相同的器件制造工艺,研制出三种RTD器件,并测量了它们的9个直流参数。对测量结果进行了对比和
【作 者】
:
郭维廉
牛萍娟
苗长云
于欣
王伟
商跃辉
冯震
田国平
【机 构】
:
天津工业大学信息与通信工程学院,中国电子科技集团公司十三所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
2008年2期
【关键词】
:
共振隧穿二极管
材料结构
器件参数
RTD
material structure
device parameters
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为了研究器件参数与材料结构的关系,设计了三种不同的GaAs基RTD材料结构。通过完全相同的器件制造工艺,研制出三种RTD器件,并测量了它们的9个直流参数。对测量结果进行了对比和分析。最后针对RTD与HEMT集成时,如何处理RTD与HEMT间的电流匹配问题提出了建议。
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