基于数据拟合提高非球曲面面形精度的方法

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介绍了采用LVDT在线测量非球曲面的原理,并给出最小二乘数据拟合处理方法,通过试验加工球面和非球面元件.利用LVDT测量头进行在位检测.评估面形精度.经数据拟合插补和误差控制.并采用激光干涉仪测量验证后表明.该算法可以应用于高精度非球面测量及加工误差补偿程序.以提高非球曲面加工精度。
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