【摘 要】
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利用射频磁控溅射制备了氮掺杂TiO2-xNx薄膜托槽,通过X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）等测试手段表征了托槽表面薄膜的结构、形貌,并通过原子力显微镜（AFM）、多功能材料表面试验仪等
【机 构】
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兰州大学口腔医学院,兰州大学物理科学与技术学院
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利用射频磁控溅射制备了氮掺杂TiO2-xNx薄膜托槽,通过X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）等测试手段表征了托槽表面薄膜的结构、形貌,并通过原子力显微镜（AFM）、多功能材料表面试验仪等研究了TiO2-xNx薄膜与基底托槽的附着力、TiO2-xNx薄膜托槽的表面粗糙度以及表面摩擦系数。结果表明制备的托槽表面为均一的锐钛矿相结构TiO2-xNx薄膜,晶粒粒径为30nm,纳米TiO2-xNx薄膜托槽表面致密、平整,薄膜与托槽衬底结合紧密、附着性好,托槽表面粗糙度降低,摩擦系数变小,改善了托槽表面性能,为
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