【摘 要】
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利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以PH3为掺杂剂,在浮法玻璃衬底和不锈钢衬底上制备了纳米级的n型微晶硅薄膜。采用Wvase32型椭圆偏振光谱仪、Reinishaw2000
【机 构】
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滨州学院物理与电子科学系,郑州大学材料物理教育部重点实验室,
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利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以PH3为掺杂剂,在浮法玻璃衬底和不锈钢衬底上制备了纳米级的n型微晶硅薄膜。采用Wvase32型椭圆偏振光谱仪、Reinishaw2000型拉曼(Raman)光谱仪和高阻仪对薄膜进行测试,以研究沉积条件对薄膜沉积速率、晶化率和暗电导特性的影响,并对沉积功率和沉积气压进行双因素优化,绘制了双因素相图。
Nanocrystalline n-type microcrystalline silicon thin films were prepared on a float glass substrate and a stainless steel substrate by using radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RF-PECVD) with PH3 as a dopant. The film was tested with Wvase32 Ellipsometer, Reinishaw2000 Raman spectrometer and high resistance meter to study the effect of deposition conditions on the deposition rate, crystallization rate and dark conductance of the films. The deposition power and deposition pressure Two-factor optimization, draw a two-factor phase diagram.
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