【摘 要】
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该文研究了一种覆盖六氟-2-羟基异丙基聚硅氧烷（SXFA）敏感膜,并针对有机磷化学物检测的新型Love波传感器,采用36°YX-LiTaO3与SiO2分别作为Love波延迟线器件的压电基底与波
【机 构】
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中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（11074268,11274340）
论文部分内容阅读
该文研究了一种覆盖六氟-2-羟基异丙基聚硅氧烷（SXFA）敏感膜,并针对有机磷化学物检测的新型Love波传感器,采用36°YX-LiTaO3与SiO2分别作为Love波延迟线器件的压电基底与波导层材料。将所研制的Love波器件作为差分振荡器的频率控制单元,结合SXFA敏感膜,开展了针对甲基磷酸二甲（DMMP）的气体传感实验,分析了不同波导层膜厚对Love波传感器气体响应的影响,并与传统瑞利型声表面波模式的气体传感器性能进行了对比,实验结果显示,Love波模式传感器表现出高灵敏度特性。
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