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利用非平衡磁控溅射系统制备了含微量Cr的类石墨镀层，使用四点探针法测量所制备镀层的电阻率，测试结果表明所制备镀层工作层为类石墨层。使用SEM观察了镀层形貌，使用TEM及HRTEM观察了镀层的微观组织并利用选区电子衍射分析了镀层相结构，观察和分析结果表明：镀层表面质量良好，镀层的纯Cr金属底层为柱状晶结构，过渡层的晶体结构为非晶相中嵌有Cr纳米晶结构；工作层为非晶结构。测定了镀层的硬度、结合力，以及在不同载荷下的摩擦因数和比磨损率，测试结果表明：所制备镀层具有高硬度、高结合力、低摩擦因数和低比磨损率，且高载