The Effects of Substrate Thickness on the Properties of 1-3-2 Multi-element Piezoelectric Composite

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<正>1-3-2 multi-element piezoelectric composites were fabricated by the twice dice-filling technique using epoxy resin as matrix,lead zirconate-titanate piezoelectric ceramic(Pb(Zr,Ti)O_3,PZT)as functional material and silicon as decoupling material.
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