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离子注入均匀性的测绘—历史与现状
离子注入均匀性的测绘—历史与现状
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:samsam1005
【摘 要】
:
本文评述了离子注入剂量和均匀性测绘技术的发展历史,并对五种常用的测绘方法进行了概述。
【作 者】
:
罗应明
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1992年4期
【关键词】
:
离子注入
均匀性
测绘
历史
现状
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本文评述了离子注入剂量和均匀性测绘技术的发展历史,并对五种常用的测绘方法进行了概述。
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