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通过对多路并行输出的高帧速自扫描光电二极管面阵(SSPA)的研究,分析了影响面阵帧速和响应度的主要因素。设计并制作出32×32位多路并行输出的SSPA实验样品。其性能参数为:FPS(帧速)≤2000帧/秒时,Vos(最大输出电压)=240mV,R(响应度)=1.09V·1x-1·s-1;FPS=10000帧/秒时,Vos=150mV;FPS=15000帧/秒时,Vos=100mV。