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本方法的特点是以硫酸为介质，使二氧化硅和氟化氢接触反应，从而得到四氟化硅。此时，保持硫酸介质浓度在80％以上。
高纯四氟化硅的制造方法
【摘 要】
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本方法的特点是以硫酸为介质，使二氧化硅和氟化氢接触反应，从而得到四氟化硅。此时，保持硫酸介质浓度在80％以上。
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1986年1期
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