Effect of Substrate Bias on Microstructure and Properties of Tetrahedral Amorphous Carbon Films

来源 :材料科学技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nsitbay

【摘要】

：

The microstructure and properties of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films deposited by the filtered cathodic vacuum arc technology has been investigated by

【作者】

：

Jiaqi ZHU Jiecai HAN Songhe ME

【机构】

：

CenterofCompositeMaterials

【出处】

：

材料科学技术：英文版

【发表日期】

：

2003年z1期

【关键词】

：

TETRAHEDRAL AMORPHOUS carbon Filtered cathodic VACUUM arc SUBSTRATE BIAS

【基金项目】

：

The work was sponsored by the National Key Research Plans in "the tenth Five-year", No. 41312040401.

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The microstructure and properties of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films deposited by the filtered cathodic vacuum arc technology has been investigated by visible Raman spectroscopy, AFM and Nano-indentor. The Raman spectra have been fitted with a s

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