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微机械制造中的三维立体光刻加工技术
微机械制造中的三维立体光刻加工技术
来源 :制造技术与机床 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nyjnju
【摘 要】
:
文章介绍了微机械和微机电系统制造的一种重要方法-三维立体光刻技术方法的基本原理、加工技术及其应用.同时还介绍了立体光刻技术结合抗腐蚀层、牺牲层工艺加工微器件的原理
【作 者】
:
袁哲俊
胡忠辉
谢大纲
【机 构】
:
哈尔滨工业大学机电学院
【出 处】
:
制造技术与机床
【发表日期】
:
2004年8期
【关键词】
:
微机械
微机电系统
三维立体光刻技术
各向异性刻蚀
牺牲层工艺
3-D Lithography
Anisotropism in Etching
Sacrific
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文章介绍了微机械和微机电系统制造的一种重要方法-三维立体光刻技术方法的基本原理、加工技术及其应用.同时还介绍了立体光刻技术结合抗腐蚀层、牺牲层工艺加工微器件的原理、方法和应用.
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