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文章介绍了微机械和微机电系统制造的一种重要方法-三维立体光刻技术方法的基本原理、加工技术及其应用.同时还介绍了立体光刻技术结合抗腐蚀层、牺牲层工艺加工微器件的原理、方法和应用.
微机械制造中的三维立体光刻加工技术
【摘 要】
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文章介绍了微机械和微机电系统制造的一种重要方法-三维立体光刻技术方法的基本原理、加工技术及其应用.同时还介绍了立体光刻技术结合抗腐蚀层、牺牲层工艺加工微器件的原理
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电学院
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2004年8期
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