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介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性.论述了精密工件台的结构设计要点、几何精度以及达到的技术指标.
电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析
【摘 要】
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介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性.论述了精密工件台的结构
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年6期
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