光学薄膜厚度监控技术

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【摘要】

：

本文简要地评述各种监控技术的优缺点,重点介绍了非λ/4膜厚监控技术的进展。 This article briefly reviews the advantages and disadvantages of various monitoring tec

【作者】

：

朱震

【机构】

：

中国光学学会薄膜专业委员会委员

【出处】

：

激光与红外

【发表日期】

：

1987年01期

【关键词】

：

淀积速率监控技术光学薄膜多层膜光学监控光学厚度极值点

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本文简要地评述各种监控技术的优缺点,重点介绍了非λ/4膜厚监控技术的进展。 This article briefly reviews the advantages and disadvantages of various monitoring techniques, highlighting the progress of non-λ / 4 film thickness monitoring techniques.

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