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微位移精密定位系统中的压电陶瓷元器件具有非光滑特性,无法直接测得压电元器件的输入输出信号,常规方法难以对其进行有效的辨识和控制。文章采用三明治模型来描绘纳米微位移平台,并提出一种基于最小二乘支持向量机优化的辨识方法解决三明治迟滞模型的辨识问题。最后基于已经辨识的三明治模型,设计一个PID逆补偿控制器,解决定位系统的精密轨迹控制问题。