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非致冷微测辐射热计绝热桥腿的设计及分析
非致冷微测辐射热计绝热桥腿的设计及分析
来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq2009liuwei
【摘 要】
:
非致冷微测辐射热计设计的难点之一是起热隔离作用的微桥结构的设计,其中桥腿结构的设计又是重点。文章重点研究了现在流行的几种桥腿的设计,提出了一种新的L形桥腿设计方案,并
【作 者】
:
马敏辉
吴志明
蒋亚东
何为
【机 构】
:
电子科技大学微电子与固体电子学院,电子科技大学光电信息学院
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
非致冷
微测辐射热计
桥腿
有限元
L形
uncooled
microbolometer
bridge leg
finite element
'L' t
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非致冷微测辐射热计设计的难点之一是起热隔离作用的微桥结构的设计,其中桥腿结构的设计又是重点。文章重点研究了现在流行的几种桥腿的设计,提出了一种新的L形桥腿设计方案,并对其进行了力学和热学方面的有限元分析,为以后在微桥结构设计过程当中桥腿的选取提供了有力的参考依据。
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