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采用化学溶液沉积法，用价格低廉的原料成功地制备了Bi2Ti2O7介质膜．制膜过程简单，成本低廉，得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数．用其制备的绝缘栅场效应管与相同尺寸的SiO2绝缘栅场效应管相比，前者具有较高的跨导和较低的开启电压。
Bi2Ti2O7薄膜的制备及在栅场效应管中的应用
【摘 要】
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采用化学溶液沉积法，用价格低廉的原料成功地制备了Bi2Ti2O7介质膜．制膜过程简单，成本低廉，得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数．用其制备的绝缘栅场效应管与相同尺寸的Si
【机 构】
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吉首大学化学化工学院
【出 处】
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吉首大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2006年1期
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