San Suny推动千兆位技术

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【摘要】

：

SanSuny电子公司表示在ZopZ年实现0．13pm工艺技术，并达到千兆位芯片的水平，比预期提早3-4年。该技术包括光刻工艺，高效晶体管制造工艺和三层金属布线工艺。在一块只有拇指甲大小

【作者】

：

蒋向红

【出处】

：

微电子技术

【发表日期】

：

1999年5期

【关键词】

：

千兆位技术工艺技术晶体管制造超微技术光刻工艺兆位芯片金属布线新技术拇指甲低容量

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SanSuny电子公司表示在ZopZ年实现0．13pm工艺技术，并达到千兆位芯片的水平，比预期提早3-4年。该技术包括光刻工艺，高效晶体管制造工艺和三层金属布线工艺。在一块只有拇指甲大小面积的单片4GbDRAM芯片上将容纳40亿位信息或相当于32000页标准报纸的信息量。该新技术可望降低较低容量DRAM成本。由于采用超微技术，对于IGbDRAM而言，SanSully公司将能制造出的电路量比采用0．18Urn工艺技术制造出的多刀叽。该公司采用了新的条宽技术，已成功地生产出了0．13pm技术的16MbDRAM

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