【摘 要】
：
为将氮化铝(AlN)的压电特性与微电子机械系统(microelectro mechonical system,MEMS)的微加工技术相结合,研制基于AlN压电薄膜结构的单电极水听器。通过采用COMSOL仿真方法研
【机 构】
：
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,北京卫星环境工程研究所
论文部分内容阅读
为将氮化铝(AlN)的压电特性与微电子机械系统(microelectro mechonical system,MEMS)的微加工技术相结合,研制基于AlN压电薄膜结构的单电极水听器。通过采用COMSOL仿真方法研究了器件在20~100 Hz低频范围内谐振特性,结果表明压电薄膜优化厚度0.8~1.0μm,振动薄膜直径100μm。给出了器件制备工艺流程,采用感应耦合等离子体(inductively coupled plasma,ICP)精准刻蚀A1N薄膜提高成品率,并对实际样品进行高静水压等环境适应性测试。单
其他文献
针对欺骗干扰环境中的线性调频（linear frequency modulation,LFM）雷达干扰抑制问题,提出了一种动态环境下性能较好的数字射频存储器（digital radio frequency memory,DRFM）假目
本文依据2019年贵州省毕节市七星关区森林生态产业资源大普查成果资料,对森林生态产业资源现状进行了总结。七星关区各森林生态产业面积特征表现为特色经济林>菌材林和竹林>
农村是相对于城镇的居住区，具有分散、以农业为主要特点的生产生活居住区，是我国主要的人口聚居地。改革开放三十多年以来，农村在发展基础农业的同时，轻小型工业也有所发展，在推动
中国石油和化工网2015年11月27日报道,由中国石化洛阳工程有限公司牵头研发的国内首台液化天然气(LNG)用卧式对置平衡式低温气体压缩机,日前通过中国机械工业联合会组织的成
福建民间花灯装饰艺术是福建民间文化瑰宝重要组成部分,它是历史文化的传承。在艺术表现上充分体现了区域历史、文化特色,主题鲜明,色彩、造型丰富多彩,并散发着时代的气息,
从分析创业能力入手，论述在开放和富于实践导向的创业教育格局中，创业能力的培养是贯穿整个教育过程的主线。其中，学习创业知识是形成创业能力的基础，形成创业能力是创业教育的核
我国举世闻名的青铜礼乐器编钟，知道的人很多。但编钟的“祖先”是青铜大铙（音nao），则知道的人就恐怕不多了。
随着城乡经济的快速发展,城乡一体化的政治和民生诉求日益强烈,同时,随着城乡居民流动性增强,用电客户对农村用电服务的需求也发生着巨大的变化。深入推进农电营销精益化管理
目的：比较市售不同批次西洛他唑片的人体药动学参数。方法：18～22名健康志愿受试者单剂量口服中国大冢制药有限公司生产的不同批次西洛他唑片后,用高效液相色谱法测定血药浓度,以
以中美图书馆参考咨询服务的现状作比较,指出我国公共图书馆参考咨询服务的差距,并探讨参考咨询服务今后的模式和发展方向.