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采用溶胶一凝胶法，以氯化锡和无水乙醇为反应起始物，经过加热回流，热处理等工艺，制备了掺硅和锑的氧化锡气敏薄膜，并制成了气敏元件，元件性能测试表明，材料对Ｈ２具有较高的灵敏度和选择性，较好的响应一恢复特性和稳定性。
SnO2薄膜元件的制备及其气敏特性研究
【摘 要】
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采用溶胶一凝胶法，以氯化锡和无水乙醇为反应起始物，经过加热回流，热处理等工艺，制备了掺硅和锑的氧化锡气敏薄膜，并制成了气敏元件，元件性能测试表明，材料对Ｈ２具有较高的灵敏度和选择
【机 构】
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福州大学气体传感器研究所
【出 处】
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福州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2000年1期
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