磁控溅射法制备CoCrMo合金表面掺杂DLC膜层的性能研究(英文)

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:C1335639
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为提高CoCrM合金的耐磨性,延长其使用寿命,采用磁控溅射法在其表面制备了厚度为1.89μm、分别掺W元素和掺Ti元素的2种DLC膜层。摩擦磨损实验测得未镀膜层、镀Ti-DLC膜层以及镀W-DLC膜层的CoCrMo合金的磨损率分别是15.25×10~(-6),0.76×10~(-6)和0.19×10~(-6)mm~3·m~(-1)·N~(-1)。结果说明:镀膜后基体的耐磨性显著提高;镀W-DLC的试样比镀Ti-DLC的试样更耐摩。拉曼分析表明,镀膜试样因在摩擦过程中表层膜层发生了部分石墨化,所以表现出了优异的耐磨性。 In order to improve the wear resistance and prolong the service life of CoCrM alloy, two kinds of DLC films with thickness of 1.89μm, doped with W element and doped with Ti element were prepared on the surface by magnetron sputtering. The wear rates of uncoated, Ti-DLC-coated and W-DLC-coated CoCrMo alloy were 15.25 × 10-6, 0.76 × 10-6 and 0.19 × 10 ~ (-6) mm ~ 3 · m ~ (-1) · N ~ (-1). The results show that the wear resistance of the substrate after the coating is significantly improved; the sample coated with W-DLC is more resistant than the sample coated with Ti-DLC. Raman analysis showed that the coated samples exhibited excellent wear resistance due to partial graphitization of the surface coatings during the rubbing process.
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