提高梳状一维PSD性能的研究

来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qiushuicai

【摘要】

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梳状一维位置敏感探测器是一种高精度的位置敏感探测器PSD(Position Sensitive Detector).反向击穿电压是PSD器件的关键性能参数之一,目前国内的此类产品普遍存在反向击穿电

【作者】

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吴旭明曹向群唐九耀陈钰清

【机构】

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浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,浙江,杭州,310027

【出处】

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城市道桥与防洪

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

反向电压位置敏感探测器

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梳状一维位置敏感探测器是一种高精度的位置敏感探测器PSD(Position Sensitive Detector).反向击穿电压是PSD器件的关键性能参数之一,目前国内的此类产品普遍存在反向击穿电压较低.为了改善PSD的技术性能,详细分析了梳状一维PSD反向击穿电压低的原因,并提出了几条有效的改进措施.

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