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采用多弧离子镀方法，以Ti6Al4V作为蒸发材料，N2为反应气，在高速钢、玻璃及单晶Si基体上沉积(Ti，Al，V)N多元超硬膜。结果表明，该镀膜工艺可行，制备出的(Ti，Al，V)N膜层性能优异。
多元超硬膜（Ti,Al,V）N的制备及性能研究
【摘 要】
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采用多弧离子镀方法，以Ti6Al4V作为蒸发材料，N2为反应气，在高速钢、玻璃及单晶Si基体上沉积(Ti，Al，V)N多元超硬膜。结果表明，该镀膜工艺可行，制备出的(Ti，Al，V)N膜层性能优异。
【机 构】
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华中科技大学材料学院,一拖集团
【出 处】
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热加工工艺
【发表日期】
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2001年1期
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