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期刊论文
加速度传感器及其制造方法
加速度传感器及其制造方法
来源 :国外传感技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ihuangda
【摘 要】
:
本发明开发的加速度传感器,显著减小了弹簧部及重锤式移动电极的自重形成的变形,尽管弹簧部和重锤式移动电极因其自重难免还有所变形,但已减小到微不足道的程度,实验结果表明,对高
【作 者】
:
乐其中
S.Wendar
【出 处】
:
国外传感技术
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
加速度传感器
移动
高精度
弹簧
电极
制造方法
开发
发明
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本发明开发的加速度传感器,显著减小了弹簧部及重锤式移动电极的自重形成的变形,尽管弹簧部和重锤式移动电极因其自重难免还有所变形,但已减小到微不足道的程度,实验结果表明,对高精度检测加速度几乎就无影响。
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