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为了研究激光诱导放电击穿的机理及在应用中减小击穿电压以降低加工风险，通过测得击穿电压随不同激光脉冲能量、极间距和工具电极（阴极）材料的关系，得出只有当单脉冲激光能量W≥0．15mJ，即激光在工件表面形成汽化的前提下才能有效放电击穿，并且当其它条件不变时，击穿电压U50随激光单脉冲能量的增大而减小。在电极材料为碳钢并保持不变的情况下，随着极间距的增大，U50升高，并随着单脉冲激光能量增大，U50升高的趋势渐缓。在其它条件不变下，改变工具电极材料（紫铜和石墨），得出相对于石墨，使用紫铜时能有效地减小击穿电压。