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  5. In_(0.3)Ga_(0.7)As多层耦合表面量子点气敏特性分析

In_(0.3)Ga_(0.7)As多层耦合表面量子点气敏特性分析

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yy19871003
【摘 要】
：
详细分析了不同激光功率下,沉积在5层掩埋量子点(BQDs)层上的In0.3Ga0.7As表面量子点(SQDs)的气敏特性。结果表明,SQDs的存在和光照是样品具有气敏性的两个关键条件。激光功
【作 者】
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刘增光 杨莹丽 王国东 王俊君 杨林林 璩光明 
【机 构】
：
河南理工大学电气工程与自动化学院,河南理工大学分析测试中心,河南理工大学物理与电子信息学院
【出 处】
：
传感器与微系统
【发表日期】
：
2021年5期
【关键词】
：
表面量子点(SQDs) GaAs隔离层 耦合结构 气敏 
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(U1804165,61774053),河南省国际合作项目(182102410047),河南理工大学科研计划资助项目(NSFRF140116,B2014-020),河南省教育厅重点研发计划资助项目(19B510004)。
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详细分析了不同激光功率下,沉积在5层掩埋量子点(BQDs)层上的In0.3Ga0.7As表面量子点(SQDs)的气敏特性。结果表明,SQDs的存在和光照是样品具有气敏性的两个关键条件。激光功率越强,样品的气敏性越好。同时,SQDs耦合结构中,GaAs隔离层厚度越薄,样品的气敏性能越好,表明SQDs层与BQDs层之间存在的载流子跃迁对耦合结构的气敏特性具有十分重要的影响。该研究结果表明:In0.3Ga0.7As SQDs
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