【摘 要】
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离子溅射工艺在国际上广泛用于航天和电子等工业部门。为了满足我国离子溅射炉阴极靶的需要,我所承坦了研制镍铁靶的项目。根据产品技术要求,采用粉末冶金密封热锻工艺,研制
【机 构】
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本溪合金总厂金属研究所 本溪 107022
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离子溅射工艺在国际上广泛用于航天和电子等工业部门。为了满足我国离子溅射炉阴极靶的需要,我所承坦了研制镍铁靶的项目。根据产品技术要求,采用粉末冶金密封热锻工艺,研制出成分准确,并达到99～100％理论密度的Ni,Fe合金。初步探索出制定离子溅射炉阴极靶的新工艺。
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