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对三根优质单晶硅的性能进行了实验研究,对电阻率、氧含量、碳含量、少子寿命等进行了检测。结果表明:当单晶炉内压强为1300 Pa时,所生产出的单晶硅质量最佳,其电阻率为0.7,少子寿命为9.8,含碳量为3.3×1018atoms/cm3,含氧量为0.46×1018atoms/cm3。
单晶硅性能的实验研究
【摘 要】
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对三根优质单晶硅的性能进行了实验研究,对电阻率、氧含量、碳含量、少子寿命等进行了检测。结果表明:当单晶炉内压强为1300 Pa时,所生产出的单晶硅质量最佳,其电阻率为0.7,
【机 构】
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西安航天动力试验技术研究所,陕西延长石油集团有限责任公司,中石化宁波工程有限公司
【出 处】
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价值工程
【发表日期】
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2016年21期
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