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球,柱面变间隙电容传感器的精密测量研究
球,柱面变间隙电容传感器的精密测量研究
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 3次 | 上传用户:a5592306
【摘 要】
:
本文对球、柱面间隙电容传感器进行了分类,定义了几个重要参数,将误差分为电路和机械的,并完成了理论与实验研究。文章以精密的静电陀螺为例,研制了转子位移电容分辨率标定装置,使陀螺转子相对位移分辨率、零点稳定度可标定到0.01μm量级
【作 者】
:
晏磊
【机 构】
:
北京航空航天大学自动控制系
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
0年YQXB602.005期
【关键词】
:
传感器
电容传感器
测量
Microdisplacement Gap capacitance ResolusionElectrical sensitivity
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本文对球、柱面间隙电容传感器进行了分类,定义了几个重要参数,将误差分为电路和机械的,并完成了理论与实验研究。文章以精密的静电陀螺为例,研制了转子位移电容分辨率标定装置,使陀螺转子相对位移分辨率、零点稳定度可标定到0.01μm量级
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