论文部分内容阅读
用直流反应磁控溅射法制备了TiO2—WO3双层结构的气敏薄膜，进行了薄膜微结构和化学成分分析，研究了TiO2表面层对WO3气敏特性的影响。实验证明：当TiO2膜厚为30nm时，WO3薄膜对NO2敏感特性得到改善，TiO2—WO3结构的薄膜对空气中较低浓度的NO2（体积分数为（1～3）×10。）具有优异的敏感特性和响应特性。最适宜的工作温度为120℃，在一些气体（如CO、H2S、C2H5OH、H2）中对NO2的选择性也大大提高。