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对薄膜材料结构测量的几种常规方法即：X射线衍射法、中子衍射法、能量过滤电子衍射分析法、计算机模拟法等在实验设备、样品的要求、数据的采集和处理、实验结果的准确性等方面做了比较，分析了各自的优缺点，为薄膜材料结构测量实验方法的选择提供参考。
薄膜材料结构信息测试方法比较
【摘 要】
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对薄膜材料结构测量的几种常规方法即：X射线衍射法、中子衍射法、能量过滤电子衍射分析法、计算机模拟法等在实验设备、样品的要求、数据的采集和处理、实验结果的准确性等方面做了比较，分析了各自的优缺点，为薄膜材料结构测量实验方法的选择提供参考。
【机 构】
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中南工业大学粉末冶金研究所(长沙),上海交通大学材料科学系(上海) 上海交通大学材料科学系(上海)
【出 处】
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中国有色金属学会第三届青年学术会议
【发表日期】
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1998年12期
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