砷化镓抛光片总厚度变化研究

来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vitalee
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
抛光片表面总厚度变化是衡量砷化镓抛光片表面质量的重要几何参数指标 ,对后序的器件工艺及集成电路工艺有着至关重要的影响。通过对影响总厚度变化的抛光液组分进行实验分析 ,在抛光工艺中采用化学机械抛光的方法抛出合格的双面抛光片 ,采用统计的方法对测得的总厚度变化数据进行分析 ,找出合适的抛光工艺
其他文献
<正> 说起砷化镓来,可能有些人觉得生疏、有些人不知道它是半导体材料,如果说它早已经进入我们的家庭生活,那更是出乎意料的事。现在我们看电视、听音响、开空调都用遥控器。
<正>1概说胃食管反流是指胃、十二指肠内容物反流入食管的现象,它可分为生理性和病理性(胃食管反流病)两种。胃食管反流病近年来开始被我国医学界所重视。本病多发于40-60岁
会议
伴随着互联网的发展,网络营销正在被众多企业所看重。当网民的数量超过3亿,即将突破4亿的关口,任何一个品牌都不能忽视这个巨大的市场。作为中国电脑生产厂商的领头羊,联想早
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
目的研究Co2+对具有不同末端基团的聚酰胺胺(PAMAM)树状大分子与牛血清白蛋白(BSA)的相互作用,并探讨其作用机制。方法采用紫外光谱法研究以乙二胺为核的PAMAM树状大分子与Co2+的相
人类社会发展史就是一部个人解放的历史。从现实看,中国现代化进程必然与人的个性的独立和发展相一致。现代化的核心标志是人的现代化,个人的解放和人格独立是其出发点和最终
目的:探讨剖宫产术后再次妊娠处理对策。方法:选取68例剖宫产术后再次妊娠者,同时对其分娩方式进行观察与统计,根据其结果提出处理对策且对其进行总结。结果:68例剖宫产术后再次妊
目的总结异位妊娠的临床观察及护理措施。方法 2010年1月至2014年12月我所在的卫生院共收治非破裂异位妊娠患者8例,对8例未破裂异位妊娠患者的临床资料进行收集、整理、分析
本文选取《美国黑人女演员——为黑人发声,1900-1960》(African American Actresses-The Struggle for Visibility,1900-1960)第四章——弗莱迪·华盛顿:伪装和面具(Fredi Wa
中国科学院计算技术研究所刘群研究员撰写的《汉英机器翻译若干关键技术研究》一书于2008年11月由清华大学出版社出版。该书属于中国中文信息学会组织编写的“中文信息处理丛