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分析了延迟线型表面横波（STW）生物传感器的灵敏度与栅阵材料、厚度的关系。给出了计算栅阵对表面横波束缚能力的方法，由STW的束缚能力可以直接得到传感器的灵敏度。从Auld微扰理论出发推导出表面横波传感器灵敏度的表达式。根据上述理论分析，以AT切割压电石英基片为例，分别计算金、银、铝三种栅阵材料在不同厚度时的传感器灵敏度，并给出对比分析结果。结果表明，在相同栅阵厚度时，采用金栅阵的传感器灵敏度最高，银次之，铝最小；传感器的灵敏度随着栅阵厚度的增加而增加。