【摘 要】
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工艺实验是制备BMN介质变容管的基础.实验工艺主要包括介质靶材制备和变容管微细加工两部分工艺.介质靶材制备工艺对介质变容管的介电性能起到决定性作用,介质靶才越接近理论
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工艺实验是制备BMN介质变容管的基础.实验工艺主要包括介质靶材制备和变容管微细加工两部分工艺.介质靶材制备工艺对介质变容管的介电性能起到决定性作用,介质靶才越接近理论化学计量比,越有利于制作出高性能的薄膜器件.介质靶材的制备是采用传统的固相反应法与盖烧和埋烧工艺相结合,制备高致密度的介质靶材.本文主要在改进BMN介质变容管制备工艺上进行了分析和研究,从而给业内提供交流.
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