【摘 要】
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研制了一台阳极15厘米的轴向发散磁场结构考夫曼型离子源,设计了改善束流密度均匀性的匹配栅和提高束流密度的聚焦束位移孔球面棚,仅更换这两种多孔栅离子引出系统,可提供均
【机 构】
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研制了一台阳极15厘米的轴向发散磁场结构考夫曼型离子源,设计了改善束流密度均匀性的匹配栅和提高束流密度的聚焦束位移孔球面棚,仅更换这两种多孔栅离子引出系统,可提供均匀区φ10.5厘米(均匀度优于±5％)、束散角小于9°的均匀束和峰值密度11.4毫安/厘米~2,在φ4厘米的靶上平均密度为6毫安/厘米~2的聚焦束。
A 15 cm axial divergent magnetic field structure Kaufman-type ion source with an anode of about 15 cm was designed. A matching grid with improved beam density uniformity and a focusing beam displacement dome with a beam current density were designed. Only the two kinds of porous The gate ion extraction system provides a uniform beam with a uniform area of φ10.5 cm (better than ± 5% uniformity) and a uniform beam with a beam divergence less than 9 ° and a peak density of 11.4 mA / cm 2 averaged over a φ4 cm target A focused beam with a density of 6 mA / cm2.
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