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本文用x射线光电子能谱仪（XPS）对TiZrV合金吸气剂的激活过程进行了监测，研究了吸气剂表面Ti、Zr、V、O、C元素的化学价态随温度的变化。实验结果表明：暴露过大气的TiZrV吸气剂表面的佻、Zr和V主要以氧化态的形态存在。当吸气剂置于高真空激活时，钒的氧化物在较低的温度（250℃-300℃）开始被还原，钛的氧化物在稍高于钒的温度（300℃）也开始被还原，400℃时表面已经有大量的金属钛的存在，而压的氧化物在（100℃～400℃）激活过程中，则没有明显的变化。