【摘 要】
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引言 涡轮分子泵作为商品,自一九五八年问世以来经过二十余年的发展,已经成为一种广泛应用的“清洁”的超高真空获得设备。目前,国际上有西德、瑞士、美、法、日、意、苏七个
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引言 涡轮分子泵作为商品,自一九五八年问世以来经过二十余年的发展,已经成为一种广泛应用的“清洁”的超高真空获得设备。目前,国际上有西德、瑞士、美、法、日、意、苏七个国家的九家厂商生产几十种规格型号的涡轮分子泵。单泵的最大抽速达9000升/秒,最小抽速只有16升/秒。 ?
Introduction Turbo-molecular pumps, as commercial products, have been developed for more than two decades since they were introduced in 1958 and have become a widely used “clean” ultra-high vacuum equipment. Currently, there are nine vendors in the West Germany, Switzerland, the United States, France, Japan, Italy and the United States producing dozens of turbo-molecular pumps of various specifications and models. The maximum pumping speed of a single pump of 9000 liters / second, the minimum pumping speed of only 16 liters / sec. ?
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