等离子体腐蚀铬掩模

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一、前言制作LSI和VLSI集成电路的铬掩模,图形线条细密至几个微米乃至亚微米。要求制造的尺寸精度小于设计尺寸的十分之一。由于湿法腐蚀侧向钻蚀严重,要做到成功的细线条腐蚀是相当困难的。等离子体腐蚀则侧向钻蚀小,可获得比较精细的线条,而且工艺和设备都比较简单,适于较大面积的腐蚀。本文报导采用等离子体腐蚀制作0.7μm线
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