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本文评述了超薄SOI结构的性能优点,并对需要由SOI工业指明的工艺因素和市场驱动因素做了预测。
适用于高速亚微米CMOS工艺的超薄SOI
【摘 要】
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本文评述了超薄SOI结构的性能优点,并对需要由SOI工业指明的工艺因素和市场驱动因素做了预测。
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1991年2期
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