微结构与微型零件的微注射成形

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设计并制作了微注射成形模具,采用光刻、离子蚀刻工艺相结合在硅片上制得了微零件型腔、流道及浇口。利用该模具在微型注射机上进行了聚丙烯微注射成形实验,注射成形了微结构零件及独立的微型零件,其中最小微结构部分是直径50μm的微圆柱,最小独立的微型零件是直径300μm、厚300μm的微圆片。分析了模具温度、注射压力及保压时间对微注射成形的影响,其中模具温度影响最大,注射压力、保压时间的影响次之。
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