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太阳能电池的制造过程中，晶片要经历各种湿化学工艺。在进入半导体清洗装置前后，这些薄硅片都是由机器人进行操作的。在此对需求给出清晰定义：为了得到高生产力，保证最低破损率下的最短周期是个困难的问题，只能通过使用最高水平的机械自动化来实现。
史陶比尔：TS60SCARA机器人创新应用于光伏产业
【摘 要】
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太阳能电池的制造过程中，晶片要经历各种湿化学工艺。在进入半导体清洗装置前后，这些薄硅片都是由机器人进行操作的。在此对需求给出清晰定义：为了得到高生产力，保证最低破损率下
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年2期
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